ARZUFFI发电机 BDS-MF系列
Arzuffi BDS-MF是一款等离子发(fā)生器,其正弦输出电压(yā)为40 kHz,最大功率输(shū)出为5 kW或10 kW,专为PECVD等离子或等离子(zǐ)体激发而设计。
该发生器能够提供高达10kW(5KW)至5000V的RMS输出。输出(chū)为两个对称电极的平衡型(xíng)。
典型的应用是大型工艺室的PECVD工艺。
一个特点是内部输出的高(gāo)压变压器,带(dài)有两个插座,以适应等离子(zǐ)体阻抗。
该发生器设计用于现有机器上的即插即用安装。
ARZUFFI发电机 BDS-MF系列参数:
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BDS-MF5K |
BDS-MF10K |
输出功率 |
负载为2000欧姆负载时为5 kWatt |
负载(zǎi)为2000欧姆负载时为10 kWatt |
供电电压 |
3 X 400 VAC +/- 10%50/60 HZ,10A (L1,L2,L3,PE) |
3 X 400 VAC +/- 10%50/60 HZ,18 A(L1,L2,L3,PE) |
尺寸 |
抽屉19英寸机(jī)架,4UI高度(177毫米)540毫米深度 |
抽屉19英(yīng)寸机架,4UI高度(177毫米)540毫米深度 |
重量 |
20KG铝制(zhì)容器 |
20KG铝制容器 |
冷却 |
空(kōng)气冷却,高效散热器(qì),该装置可在高达40°C的环境温度下工作 |
空气冷却,高效散(sàn)热器,该装置可在高达40°C的环境温度下工作 |
输出电压 |
在2000欧姆负载时,tap2上的电压高达5000V |
在2000欧姆负载时,tap2上的(de)电压高达5000V |
输出电流 |
TAP1上最高3.5 A,TAP2上最高2.5A |
TAP1上最高3.5 A,TAP2上最高2.5A |
输(shū)出连接器 |
2个Fischer 105连接器上(shàng)的平衡输出,用于RG214 / U同轴电缆 |
2个Fischer 105连接器上的平衡输出(chū),用于RG214 / U同轴电缆 |
等离子点火(huǒ)电压 |
大于(yú)5500 VRMS |
大于5500 VRMS |
电弧识别电(diàn)路 |
过流一次回路,反(fǎn)应时间1微秒 |
过流一次回路,反应时间1微秒 |
接(jiē)口 |
DB25连接器,模拟10V信号,24V数字(zì) 引脚排列,兼容ADVANCED ENERGY PEII© RS232或PROFIBUS 发生器(可(kě)选) |
DB25连接(jiē)器,模拟10V信号,24V数字 引脚排列,兼容ADVANCED ENERGY PEII© RS232或PROFIBUS 发生器(可选) |
前面板 |
LCD显(xiǎn)示2×40个字符 |
LCD显示2×40个字符 |
测量电路 |
RMS电压,RMS电流,负载上提供的有功功率 |
RMS电压,RMS电流,负载上提供的有功功率 |
调节电路 |
动力 |
动力 |
高压输出变压器 |
两个Tap1输出插座,用于(yú)1000欧姆负载,Tap2用于2000欧姆负载 |
两个Tap1输出插座,用于1000欧姆负载,Tap2用于2000欧姆负(fù)载 |
合规(guī) |
EC可根据要(yào)求提供符合性声明 |
EC可根据要求提供符合性声明 |
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