INFICON是创新仪器、关键传感器技术(shù)和智能制造/工业4.0软件解决方案的领先供应(yīng)商,可提高(gāo)工具、流程和完整工厂的生产力和质量。这些分析、测量和控制产品对于空调/制冷和(hé)汽车制造中的气体泄漏检测至关重要。在用于光(guāng)学器件、平板显示器、太阳能电池和工业真空镀膜(mó)应(yīng)用(yòng)的半导体(tǐ)和薄膜镀膜的复杂制造过程中(zhōng),它们对设备制造商和最终用(yòng)户至关重要。他们真空工艺的其他用户包括(kuò)生命科学、研究、航空航天、包装、热处理、激光切割和许多其他工业工艺。他们还利用他们在真空技术方面的专业知识,为应急响应、安保和环境健康与安全提供独特的有毒化学分析产品。以下就是我们华联欧(ōu)国际贸(mào)易有限公司为您提供的INFICON分析仪,瑞士INFICON分析仪产品特点相关内容和信(xìn)息。我们欢迎广大客户监督,提供优质的产品(pǐn),完善的服务是我们的宗旨。欢(huān)迎广大用(yòng)户来电(diàn)咨(zī)询!
1、瑞士INFICON分析仪产品介绍
不(bú)断上涨的硅晶片价格和成品需求意味着报废晶片的成本比以(yǐ)往任何时候都高。因此,了解您的工艺并监控缺陷已成为半导体制造中心的重中之重。Transpector MPH气体分析系统旨在为您(nín)的所有气体分析应用提供行业领先的性能,以帮助(zhù)最大限度地(dì)提高芯片产量并(bìng)最大限度(dù)地减少工具停机时间。结合较低的总体拥有成本和(hé)较高的(de)平均故障(zhàng)间隔时间,Transpector MPH比市场上任何其他残留气体分析仪(RGA)更能帮(bāng)助(zhù)您实现盈利。INFICON利用其在气体分析过程控制设备方面的专(zhuān)业知识,创(chuàng)建了具有行业领(lǐng)先数据收集速度、最小可检测分压和信噪比的RGA。所有这些都不会牺牲您对INFICON Transpector气体分析仪所期望的任何可靠性。
2、瑞士INFICON分析仪产品概述
随着制造技术的进步和质量标准的变化(huà),了解您的过(guò)程和保(bǎo)持产品质量的需求比(bǐ)以往(wǎng)任何时(shí)候都更加重要。Transpector MPS可以通过监控(kòng)过程条件、检测污染物(wù)和检查泄漏来帮助您优化过程。Transpector MPS以卓越的价值(zhí)为他们的客(kè)户提供Transpector品牌RGA的强大性能。Transpector MPS有100 amu和200 amu两种版(bǎn)本,可让您灵(líng)活地执行各种功能,包括常规泄漏检测、真空诊断和碳氢化合物分析。这种多功能性Transpector MPS成为真空炉、热处理和真空镀膜应用的首选传(chuán)感器。
3、瑞士(shì)INFICON分析仪产品特(tè)征
新型Transpector XPR 3+残留气体分析仪(RGA)提供行业领先(xiān)的测量速度,以监测(cè)和控制现代半导体(tǐ)和显示器制造所需的快速过程变化。Transpector XPR 3+是现场漏气、气体纯度、碳氢化合物和污染监测的理想选择。与定期上升率测(cè)试相比,使用Transpector XPR 3+进行实时测量可提供远超卓著的产品保护(hù)。Transpector XPR 3+RGA是(shì)经过现场验证(zhèng)的四极杆和双离子源(yuán)传感器(qì),适用于溅射压力范围应用。无需压(yā)力转换(huàn)设备、使用寿命长的组件以及快速检测和诊断问题的能(néng)力相结合,可最大(dà)限度地提(tí)高工具可用性、产品产量和产(chǎn)量。该(gāi)传感器可(kě)以从高真空到20 mTorr连续运行,无需泵。Transpector XPR 3+双离子源腔(qiāng)室旨在限制(zhì)涂层以保持离子源(yuán)灵敏度并(bìng)延长传感器的平均(jun1)维护时间。
4、瑞士INFICON分析仪产品原理
十多年来,INFICON Transpector CPM一直是(shì)半导(dǎo)体行业市场(chǎng)领先的残留气体分析仪(yí)(RGA)过程(chéng)监控系统。现在Transpector CPM 3通过与新传感器和电子设备集成的经过现场验证(zhèng)的泵和入口系统提供(gòng)行业领先(xiān)的测量速度和灵敏度。Transpector CPM 3是适用于ALD、CVD、PVD和蚀刻等新型和成熟半(bàn)导体工艺(yì)的(de)理想RGA工艺监控器。INFICON Transpector®单压采样(SPS)残留气体分析仪为目标高压工(gōng)艺提供最佳的半晶圆和显示面板保护(hù)。Transpector SPS通过对单压力应用最灵敏的漏气和工艺污染检测来(lái)最大限度地减少晶圆(yuán)和面板废料。它提供行业领先的检测限和测量速度,以确保晶(jīng)圆和面板的(de)质量和数量。Transpector SPS通(tōng)过(guò)为稳定的高压过程(chéng)提供最可靠的(de)过程监控(kòng)来最大(dà)化过程吞吐量和(hé)产量。
5、瑞士INFICON分析仪产品优势
仪器将简单且经济高效的入(rù)口系统与经过现(xiàn)场验证(zhèng)的离子源(yuán)和泵组相结合,提供(gòng)低风险和高回报的气体分析解决方案。适用于一般真空和工业应用,Transpector SPS是真空电弧重熔(VAR)等(děng)冶金和热处理应用的成熟(shú)解决方案。Transpector SPS是可配置的,可以根据(jù)特定应用和预算进行定制。对于从1E-4 Torr到大气压的采样过程压力,可选(xuǎn)择(zé)标准孔板、毛细管和旁路管线组合。耐腐蚀的入口、离子源和泵组件专为(wéi)在(zài)蚀刻、CVD、ALD和其他腐蚀性气体工艺中的(de)生存而(ér)设计。
6、瑞士INFICON分析仪部分产品型号
①瑞士INFICONTranspectorMPH
②瑞士INFICONTranspector MPS
③瑞士INFICONTranspectorXPR 3+
④瑞士(shì)INFICONTranspectorCPM 3
⑤瑞士INFICONTranspectorSPS
⑥瑞士INFICONTranspectorCPM
⑦瑞士INFICONQMG 700
⑧瑞士INFICONInficon Quantus LP100
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