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MKS真空压力传感器
名称:  MKS真空压力传感器
型号:  901 PLUS(901P)
品牌:  MKS
产地:  美国
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发布时间:  2023-10-30
浏览(lǎn)次数:  624
产(chǎn)品(pǐn)详情

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1、美国MKS真空压力传感器901 PLUS(901P)介绍
MKS模块化真空传感器尺寸紧凑,可大幅降低安装成(chéng)本。这些真空/压力表(biǎo)非常适合控制器尺寸和本地控制至关重要的应用。它们可用作具有模拟输出的压力传感器,或具有用于传(chuán)输压力信号(hào)的数字通信的真空模块。901 Plus(901P)负载锁定传(chuán)感(gǎn)器(LLT)专为负载锁定环境(jìng)而设计,结合了Piezo和Micro Pirani™真(zhēn)空(kōng)传感器技术。与传(chuán)统热导率(lǜ)计相比,组合输出可提供显着更高(gāo)的精度、稳定性、可重(chóng)复性和更快的响应时间。

2、美国MKS真空压力传感器901 PLUS(901P)特点
①绝对压(yā)力测量范(fàn)围为1,000至10-5 Torr
②单个传感器具有3个(gè)传感器功能,测量范围广
③模拟、RS232、RS485和EtherCAT®版本(běn)
④可选的集成触(chù)摸屏显示器可用于本地压力指示
⑤快速(sù)、准确且可重复的压力(lì)测量缩短了过程周期时间
⑥三个可选设定点具(jù)有快(kuài)速(sù)响应时间(jiān),可实现可靠的过程控制

3、美国MKS真空压力传感器901 PLUS(901P)规格
①绝对测(cè)量范(fàn)围:1.0 x 10-5至1500托
②差(chà)分测量(liàng)范围:-760至+760托
③数字通讯:RS485/RS232(4800至230400波特率)
④传(chuán)感器:MicroPirani™(MEMS热导率)压电(diàn)微分(MEMS隔膜)
⑤继电(diàn)器:3个继电器SPDT(可选)
⑥工作温度:0°至40°C(32°至104°F)
⑦最高烘(hōng)烤温度:85°C(185°F),非工作状态
⑧模拟输出:绝对压力:1至9 VDC、1 VDC/十倍频、100Ω最大输出阻抗(16位)
⑨可选模拟:输出2压电差分:5 VDC=0 Torr,1 VDC/十倍频(12位)
⑩继电器hlo-trade触点额定(dìng)值:1 A 3 0VAC/DC,电阻(zǔ)
⑪压(yā)电微分重复性:-760至+10 Torr±1%读数
⑫压电差动零稳定性:满量程的±0.1%(满量程=760 Torr)
⑬超压限制:1500托(绝对)
⑭内部容积:(KF16)2.8 cc
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4、美国MKS真空(kōng)压力传感器901 PLUS(901P)特征
(1)绝对压力和差压测量
901P结合了绝压和差压测量技术,提供(gòng)卓越的性能和功能。901P提供获(huò)得专利的、独立于气(qì)体的绝对压力测量(50-1000 Torr),并且比热导率传感器(qì)具有更高的精度。

(2)MicroPirani™传感器技术
与传统的皮拉尼真空计不同,MicroPirani™中的传感器元件由一毫(háo)米见方的(de)硅芯片制成,允许在非常小的体积内进行测量。由(yóu)于采用了MicroPirani™技术,901P可以读取低至(zhì)10-5 Torr的压力,比标准(zhǔn)皮拉尼传感(gǎn)器低二十个百分点。传感器设计最大限度地减(jiǎn)少了对流的影响,因此901P可以以任何方向安装,而不会影响精(jīng)度。

(3)压电差分(fèn)传感器技术
Piezo是一款差压传感器,可确保在不(bú)同的气压条件下正确测量气压。压电技术是(shì)一种直接压力(lì)读数,允许测量独立于(yú)气体。压电传感器测量相对于大(dà)气压力的范围为-760至+760 Torr。

(4)模(mó)拟压力输出
901P还具有每十倍频(pín)1VDC的模拟压力输出,可连接到外部模拟设备以进行压力读数或控制。其他模拟输出和曲线可以通过数字用户界面(miàn)选择。辅(fǔ)助可选模拟输出用于提供压差测量。

(5)三个过程控制继电器
901P具有多达(dá)三(sān)个(gè)机械继电器,可用于过程控制,例如(rú)联锁隔离阀和真空泵。每个设定点均可分配(pèi)给差(chà)分压电测量或组合绝对MicroPirani™-压电测量。

(6)紧(jǐn)凑型设计
这(zhè)些真空传感器的紧凑设计显着减少了(le)真空计占用的空间。这对于系统设计者来说特别有吸引力,并且可以实现更紧凑(còu)的真空系(xì)统。

(7)可选集成触摸屏显示器
可选的集成触摸屏显示器可供用户配置;用(yòng)户可以更改压力单位(wèi)、方向,并(bìng)可以访问设定点参数以及气体类型。显示屏(píng)还指示可用设定(dìng)点继电器的(de)状态(tài)。从(cóng)5米外的高(gāo)对比度显示屏上即可看到单个传感器显示的压(yā)力读数或组合读数。

(8)PDR900电源和显示器
PDR900电源和读数装置是一款独立的单通道控制器,可与900系列数字真空传感器(qì)配(pèi)合(hé)使用。它可以(yǐ)用作独立的(de)电源(yuán)读出单(dān)元,也可以用作OEM应用中系统集成传感器的配置、校准和诊(zhěn)断工具。

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