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1、美国MKS电容压力计DA02B系列介绍
MKS Baratron®电容(róng)压(yā)力计具有高精度和可重复性,对气(qì)体成分不敏感,结构紧凑,并且易于与大多数过程工具连接。他们几乎完全使用镍基合金制造隔膜压力表,例如Inconel®、Incoloy®等。当材料与工艺相匹配时(shí),这使得它们具有高度的耐腐蚀性。他们的传感器在组装前经(jīng)过(guò)完全焊接和100%泄漏检查。如果隔膜发(fā)生极其罕见(jiàn)的(de)故障,过程气(qì)体将完全包含在传感器内,防止逸出到外部环境。没有其(qí)他压力或真空计能够提(tí)供这种安全级别(bié)。他们的高性能Baratron®电容压力计能够以高精度和高重复性测量独立于气体的绝(jué)对压力。精度被指(zhǐ)定(dìng)为准确输出信号的读数的百分比,即使在刻度的低端也是如此。
2、美国MKS电容压力计DA02B系列概述(shù)
DA02B EtherCAT®Baratron®电容(róng)压力计(jì)继续将高性能发展到网络系统中,使用(yòng)行业标准EtherCAT数字通信连(lián)接到复杂的过程工(gōng)具。EtherCAT Baratron压力计基于经过验证的配备以太网的627C和628C Baratron产品,符(fú)合当前的SEMI®EtherCAT通用设备配置(zhì)文件,专为在先进处理(lǐ)系统中使用而设计。
3、美国MKS电容压(yā)力计DA02B系列特点
①未加热或控制至(zhì)45°C、80°C或100°C
②EtherCAT®通信和与压力成比例的0-10 VDC输(shū)出
③满量程测(cè)量范围为0.1至1000 Torr(13.3 Pa至133.3 kPa)
④提供标准或蚀刻(kè)传感器
⑤全焊(hàn)接Inconel和Incoloy®传感器具有极高的耐腐蚀性(xìng)
4、美国MKS电容压(yā)力(lì)计(jì)DA02B系列规格
①传感器温度:控制至45°C、80°C或100°C
②满量程压力范围:0.1、0.25、1、2、10、20、50、100、200、500和1000托(和公制当量(liàng))
③解(jiě)决:0.001%满(mǎn)量程
④通讯协议(yì):EtherCAT®
⑤模拟输出:0-10 VDC输入小于10Ω负载
⑥模拟(nǐ)连接器(qì):15针D型(xíng)超(chāo)小型公头
⑦数字连接器:两(2)个RJ45母插座,用于输入信号和网络信号
⑧跨度(dù)温度(dù)系数:0.02%读数/°C
⑨超压限制:45磅/平方英寸(310千帕)
5、美(měi)国MKS电(diàn)容压力计DA02B系列特征
(1)Baratron®电(diàn)容压力计技术
电容压力计是(shì)机电压力计,可以测量压力和真空。电容计将薄隔膜中的压力调(diào)制运动转换(huàn)成与压力成比例的电信号。压力传感器是一个薄隔膜,暴露在通过入口管测量的压力或真空中。电极安装在隔膜后面(miàn)的参考腔中(zhōng)。过(guò)程和参考腔之间的压力差coodyak使隔膜轻微偏转,改变隔膜和电极之间的距(jù)离。该距离的变化会导致隔膜和电极之间的电(diàn)容变化,从(cóng)而产生与压力变化成比例的电信号。由于电容信号的差异是由压力(lì)计(jì)内的(de)物理变化产生的,而不是由气体(tǐ)特性的变化产生的,因此电容压力计的压力测量与被测气体的成分无关。
(2)读数准确率百分比
精度指定为读数的百分比,而不是满量(liàng)程,如(rú)某些性能较(jiào)低的设备中(zhōng)所见。读数精度(dù)百分(fèn)比在最需要的压力范围较低范(fàn)围内为您提供更准确的输出信号。
(3)内部加热至45°C、80°C或100°C
这些电容压力计的温度(dù)控制为45°C、80°C或100°C,以提高精度(dù)。未加热版本(běn)会暴露在环境温(wēn)度变化的环境中,这会降(jiàng)低传感(gǎn)器的精度。这(zhè)些设备将传感器封(fēng)装在一个保持(chí)在高于(yú)环(huán)境温度(dù)的恒定温度的体积(jī)中。该解决(jué)方案通过减少(shǎo)或消除压力计内的过程污染,提高了压(yā)力计的准确性和(hé)可重复(fù)性,并降低了仪器漂移。建议将加热压力计用于需要最大精(jīng)度和可重复性、在环境温度以上运行的(de)应用以及使用热气体的过程。
(4)绝对(duì)压力测量
这些Baratron®压力传感器以真(zhēn)空为参考进行绝(jué)对压(yā)力测量。应用包括:真空炉、水果和蔬菜冷冻干燥、气体激光器、汽车部件测试、瓶子涂层和真空蒸馏。
(5)Inconel®和Incoloy®结构润湿表面(miàn)
这些压力传感器采用Inconel®和Incoloy®镍合金结构的压力传感器,使其能够在几乎任何化学环境(包括卤素、去离子水和(hé)蒸汽以及臭(chòu)氧)中无损坏地运行。传感器完全焊接,没有中间钎焊或(huò)连接(jiē)材料。
(6)0至10 VDC比例模拟(nǐ)输出
这些Baratron®电容压力计(jì)具有与压力呈线性关系的高电平0-10 VDC模(mó)拟输出(chū)信号。该模拟输出可与MKS压力控制器、MKS电源/显示仪器或满(mǎn)足这些要求(qiú)的任何仪器连接。
(7)EtherCAT®通信
这些支持e-Baratron EtherCAT®的电容压力计继续将高性能发展到网络(luò)系统中,使用(yòng)行业标准EtherCAT数(shù)字通信(xìn)连接到复杂的过程工具。EtherCAT e-Baratron压力计基于经(jīng)过验证的配备以太网的627C和628C e-Baratron产品,符合当(dāng)前的SEMI®EtherCAT通用设备规范,设计用于先进处(chù)理系统。
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