以下是我们为您介（jiè）绍的MKS臭（chòu）氧发生（shēng）器,美国MKS臭氧（yǎng）发生器相（xiàng）关信息，我们（men）保证原装正品，货期快，型号全，欢迎您来电详询！

1、美国MKS臭氧（yǎng）发生器
MKS提供各（gè）种臭氧发生器和模块化输（shū）送系统，可产（chǎn）生超（chāo）纯（chún）、可靠的臭氧气体。在洁净（jìng）的半导体环境中，臭氧与各种（zhǒng）前体（tǐ）气体发生反应，生成Al2O3、ZrO2、HfO2和La2O3金（jīn）属氧化物，从而实现原子层沉积(ALD)和蚀刻(ALE)等薄膜沉积工艺。MKS的发生器使用6级（jí）气体，能（néng）够产生更高的（de）薄膜密度（dù），从而提高产品产（chǎn）量。光（guāng）伏和显示器制造利用（yòng）半导体最佳实践，并（bìng）利用臭氧来增强（qiáng）薄膜屏障，从（cóng）而提高产品性能和可靠性。SEMOZON®臭氧（yǎng）气体发生器和子系统是紧凑型、高浓度、超洁净臭氧气体发生的行业标准。应用包括原子（zǐ）层沉积(ALD)、原子层蚀刻(ALE)、化学气相沉积(CVD)和湿法（fǎ）清洗。
​
2、美国MKS臭氧发生器
SEMOZON®AX8415是MKS开发的最具创新性和多功能的臭氧发生器。该发（fā）生器（qì）采用新颖的（de）架构和专利电池设计，可产生超洁净（jìng）、高浓度、高流量的臭氧，将氧气转（zhuǎn）化为大于400 g/Nm3的高浓度臭氧（yǎng），用于（yú）半导体、平板显示器和光伏行业的前沿应（yīng）用。

3、美国MKS臭（chòu）氧发生器特点（diǎn）
①5°C 2.5 slm时臭氧浓度（dù）高达（dá）425 g/Nm3或27.1 wt%
②氧（yǎng）气流量从2.5 slm到50 slm，可实现工艺灵活性
③专利电池设计可产生（shēng）高浓度臭氧（yǎng）
④添加或不添加氮气均（jun1）可操作
⑤闭环操作可实现更严格（gé）的过程控制
⑥直接替代MKS SEMOZON AX8407臭氧发生器

4、美国MKS臭氧发生器特征（zhēng）
（1）最高浓度的超洁净臭氧
SEMOZON AX8415的设计技术是该发（fā）生器多功能性（xìng）的（de）基础。电子工业将臭氧用于CVD和ALD薄（báo）膜的形成、氧化物生长、光刻胶去除和（hé）多种清洁应用。AX8415能够（gòu）在添加或不（bú）添加氮气（qì）作为掺杂气体的情况下（xià）产生最高浓度的超洁净臭氧，从而支持（chí）所有这些（xiē）应（yīng）用。如果特定应用需要，去除（chú）臭氧形成中使（shǐ）用的微量氮气（qì）可以消除氮氧化物化合物的形成。

（2）直接替换SEMOZON AX8407
SEMOZON AX8415的独（dú）特功能和优势使其成为行业领先的SEMOZON AX8407臭氧（yǎng）发生器（AX8415的先驱）的直接替（tì）代品。AX8415上产生和控制臭氧生成所需的（de）外形（xíng）尺寸和（hé）连接与AX8407完全相同。AX8415的卓越（yuè）性能可立即（jí）适用于所有符合AX8407臭氧发生器资格的应用。

5、美国MKS臭氧发生（shēng）器规格
①臭氧产量：高达425 g/Nm 3
②流量：2.5-50标准流（liú）明
③原（yuán）料气：氧气：6级或更好的O2；氮气（可选）：100 ppm 5级或更好的N2
④环境温（wēn）度：10-40°C(50-104°F)
⑤标称电池压力（交付）：15-45 psig(100-310 kPa)
⑥压力：将过程（chéng）压力保（bǎo）持在20-50 psig
⑦控制接口：前面板（bǎn）控制和远程操作
⑧冷却水温度：5-25°C(41-77°F)
⑨冷却（què）水过滤：100微米
⑩冷却水质：电阻率（lǜ）≥50kΩ/cm
⑪最小水流量：9.4升/分钟（2.5加仑/分钟（zhōng））
⑫电压要求：208 VAC(±10%)3Ø和GND，无中性线
⑬频率：50/60赫（hè）兹

郑重声明：内容来源于网络收集整理（lǐ），不一定正（zhèng）确，仅作参考;本站仅仅是为了更好（hǎo）地宣传推广欧美工控备件等产品信息，方便用户了解这些欧美工业备品备（bèi）件，我司非以上品牌的官方授权代理，品牌、商标所有权（quán）、型号解释权都归原厂商（shāng）所有。如有问题，请联（lián）系（xì）我们。
_______________________________________________________________________________

以上就是我们为您介（jiè）绍的MKS臭氧发生器,美（měi）国MKS臭氧发生（shēng）器，美国（guó）MKS臭氧发生器（qì）类型多样，型号齐全，如您需要购买备（bèi）件，可以来找我们，我们一定给您（nín）提供最大的优惠。欢迎您随时来咨询！