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MKS流量计
名称:  MKS流量计
型号:  P
品牌:  MKS
产地:  美国
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发布时间:  2024-04-01
浏览次数:  435
产品详(xiáng)情

美(měi)国MKS成立于(yú)1961,MKS是全球最著名(míng)的先进生产工艺控制设备(bèi)供应(yīng)商之一(yī),其产品广泛地应用于各种半导体器件、平板(bǎn)显示器、太阳(yáng)能电池、LED、光学储存介质、玻璃镀膜、光电(diàn)产品等生产设备及制(zhì)药和医学成像设备。MKS前瞻性的创新开发,推动其产品一直处于全球技(jì)术领先地位。MKS的电源、测量、控制和复杂气体相(xiàng)关的工艺监控技术,改善了设备完好率(lǜ)和产(chǎn)品成品率,提高了产(chǎn)量和(hé)产品性能。深圳市华联欧国(guó)际贸易有限公司现货供应MKS,MKS流量计,美国MKS流量计等全系列产品,低价采购,保(bǎo)质保量,价格优惠!MKS产品一站式采购,型号齐全,一件(jiàn)起订,欢迎选购(gòu)!

1、美国MKS流量计P系列产品介绍
美国MKS流(liú)量计P系列高性能多气体、多量程热式(shì)质量流量(liàng)计专(zhuān)为要求准确性、可重复性的最关键过程应用而设计。P4B是一款1.125英寸(cùn)机(jī)身、多气体/多范围、金属密封质量流量计(jì)(MFM)。P4B流(liú)量计采用了最新的数字流量计电子设备以及(jí)久(jiǔ)经考验的专(zhuān)利热传感器和机械设(shè)计(jì)。数字电子器件采用最(zuì)新的MKS算法,提供多气体/多范围测量功能。其中包括数字校准,可产生1%的校准气体读数精度。严格控制工艺气体的流量精度,以改善腔室(shì)工艺匹配,嵌入式配置和诊断软(ruǎn)件允许用户检查MFM功能,而无需从工具中移(yí)除设备。

2、美国MKS流量计P系(xì)列产品规格
①满(mǎn)量程流量范围5-50000标准立(lì)方厘米
②测量(liàng)范(fàn)围满量程的0.1-100%(机械范围)
③最大(dà)入口压力500磅/平方英寸
④2-20%满量程时为满量程的±0.2%
⑤零温度系数<满量程的0.05%
⑥跨度温度系数<读数的0.08%
⑦入口压力系(xì)数<读数的(de)0.02%
⑧热身时间<30分钟(稳(wěn)态性能满量程的0.2%以内)
⑨美(měi)国(guó)MKS流量计(jì)P系列工作温度10-50℃
⑩储存湿度0-95%相对湿度,无冷(lěng)凝
⑪储存温度-20°至80°C(-4°至(zhì)149°F)
⑫美国MKS流量计P系列重量<2.5磅(1.1千克)
美国MKS流量计P系列
3、美国MKS流(liú)量计P系列产品特征
①所需输入功率:根据DeviceNet规范+11至+25 VDC
②小字(zì)符喷码机:5针微小字符喷码机(DeviceNet)
③数据速率开关/选择:4个(gè)位置:125、250、500K(默认)、PGM(可通过网(wǎng)络编程)
④数据速率/网络长(zhǎng)度:数(shù)据速率(用户可选)125 Kbps,500米(1,640英尺)
⑤MAC ID开关/地址:2个开关,10个位置;0,0到6,3是硬件ID号7,0到9,9是软件ID号
⑥美(měi)国MKS流量计P系列网络规模:最多64个节点
⑦网(wǎng)络拓扑(pū)结构:同一网络电缆上的线性(干线/支线)电源和信号

4、美(měi)国MKS流量计P系列产品(pǐn)特性
①严格控制的(de)工艺气体流量精度可改善处理室工艺匹配
②宽动态范围内的精确流(liú)量测量(即使在量程较低时)减少了对额外(wài)低量程MFM的需(xū)求
③嵌入式配置和诊断软件,允许用户无(wú)需从工具中(zhōng)移除设备即可检查MFM功能
④美国MKS流量(liàng)计P系列使用标(biāo)准(zhǔn)网络浏览器;不(bú)需要特殊(shū)软件

5、美国MKS流量计P系列产品优势
美国MKS流量计P系列通过其多(duō)气体/多范围功能减(jiǎn)少MFM库存,多气体/多范围功能以及严格的精(jīng)度性能规格,使用户能够最大限度地减少高流量MFM零件(jiàn)号的库存。多气体/多范围功能(以及其他(tā)自定义控制)可通过MFM嵌入式诊断(duàn)接口访问,无需特殊(shū)软件或硬件即可操作。标准以太网电缆和广泛使用的(de)支持JAVA的HTML浏览器就是所需的全部工具。典(diǎn)型高流速气体的(de)关键气体参数已存储(chǔ)在(zài)设备上(shàng)。配置设备只需从下拉菜单(dān)中选择气体并指定所需的满量程流量(liàng)范围即可。诊断界面还允许用户执行常规设备运行状(zhuàng)况检查、绘制(zhì)流程并存储(chǔ)操作数据以进行离线分析。通过其明亮的自(zì)动定向LED显示屏,轻松查看流速、气体(tǐ)类型和满量程流量(liàng)。

6、美国MKS流量计P系列产品配置选项(xiàng)
①美国MKS流量计P系列P4B质量流量计P4B
②气体(按(àn)照半标准E52-0703)
③美国MKS流量计P系列氮气(N 2)SEK 13.00
④美国MKS流量计P系列氨(NH 3)SEK 29.00
⑤六氟化硫(SF 6)SEK 110.00
⑥美国MKS流量计P系列流量范围(wéi)满量程(chéng)
⑦5标准立方(fāng)厘米(mǐ)SEK 500.00
⑧10标准立方厘(lí)米SEK 101.00
⑨20标准立方厘米SEK 201.00
⑩50标准立方厘米SEK 501.00
⑪100标准(zhǔn)立(lì)方厘米SEK 102.00

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