MKS是全球最著名的先进生产工艺控制设备供应商之一，其产品广泛地应用于各种半导体器件、平板显示器、太阳能（néng）电池、LED、光学储存介（jiè）质、玻璃镀膜、光电产品等生产设备及制药（yào）和（hé）医学成像设备。MKS前瞻性的创新开发，推动其（qí）产品一直处（chù）于全球技术领先地位。深圳市（shì）华（huá）联欧国际贸（mào）易有限公司专门经销美国和欧洲等国（guó）家（jiā）的工业产品，经营产品类别（bié）和品牌多样齐（qí）全，方便用户可以一站式采购。特别的那些不好寻找的欧美工业产品（pǐn）备件。公司多年来不断（duàn）积累拓展（zhǎn）和优（yōu）化供应渠道，与品牌供（gòng）应商建（jiàn）立（lì）了良好的合作关系，所（suǒ）以拿到的价格也非常（cháng）优势。以下是我们为您介绍的《美国MKS真空计_MKS真空计901P-11030》相关信息。

1、美国MKS真（zhēn）空计（jì）概述
美（měi）国MKS真（zhēn）空计901P-11030 Micro Pirani-Piezo Loadlock真空传感器结合了Piezo和MicroPirani™传感器技术，与传统热导计相比，精度、稳定性、可重复性（xìng）和响（xiǎng）应时间显着提高。它具有0.00001-1000 Torr压（yā）力测量范围、大气切（qiē）换功能（néng）以及（jí）尺（chǐ）寸（cùn）为NW16 ISO-KF的法兰。它使用RS232数字通信接口来（lái）设置传（chuán）感器参数并（bìng）提供实时压（yā）力测量。901P专为真空（kōng）负载锁内（nèi）的压力（lì）测量而设（shè）计。它具有从大气到10-5 Torr的绝对压力测量和大气切换功能，能够取（qǔ）代负载锁上的多个压力测量设备。与传统负载室设计中使（shǐ）用的压力（lì）表相比，901P精确的大气压（yā）力测量可（kě）以通过更快（kuài）的循环时间（jiān）来提高负载室性能，并防止负载室受到大气（qì）污染。

2、美国MKS真空计功能
美国MKS真（zhēn）空计901P结合了绝压（yā）和差压测量技术，提供卓越的性能和功能。901P提供获（huò）得专利的、独立于气体的绝对压（yā）力（lì）测量（50-1000 Torr），并（bìng）且比（bǐ）热（rè）导率传感器（qì）具（jù）有更高的精度（dù）。与传统的皮拉尼真空计（jì）不同，MicroPirani™中的传感器元（yuán）件由一毫米见方的硅芯片制（zhì）成，允许在非常小的体积内进行测量。由于采用了MicroPirani™技术，901P可以读取低至10-5 Torr的压（yā）力，比标准皮拉（lā）尼传感器低二十（shí）个（gè）百分点。传感器设计（jì）最大限度（dù）地减（jiǎn）少了对流的影响（xiǎng），因此901P可以以任何方（fāng）向安装，而不会影响精度。

3、美国MKS真空计原理
美国MKS真空计901P还具有1VDC/十倍频的模拟压（yā）力输出，可连接到外部模拟设备以进行压力读（dú）数或控制。其他模拟输出和曲线可以通过数字用户界面选择。辅助可选模拟输出用于提供压差（chà）测量。901P具有多达三个机械继电器，可用（yòng）于过程控制，例如联（lián）锁（suǒ）隔离阀和真空泵。每个设定点均可分配给差分压电测量或组合绝对MicroPirani™/压电测量（liàng）。901P紧凑的设计显着减少了真空计占用的空间。

4、美国MKS真空计规（guī）格
①绝对测量范围：1.0 x 10-5至1500托
②差分测量范围：-760至+760托
③数字通讯：RS232
④类型：真空传感器
⑤密封材料：氟橡胶
⑥美国MKS真空计（jì）外壳：标准
⑦电气连（lián）接器（qì）：15针、高密（mì）度、D-sub公（gōng）头
⑧美国MKS真空计界面：RS232/模拟（nǐ）
⑨配件类型：NW16 ISO-KF
⑩美国MKS真空计安（ān）装方向：任何

5、美国MKS真空计技术参数
①美国MKS真空（kōng）计模拟输出：1-9 VDC
②美国MKS真空计（jì）模（mó）拟输出分辨率：16位
③可选模拟（nǐ）输出：25 VDC=0 Torr，1 VDC/十倍（bèi）频程
④继电器触点额定值（zhí）：1 A 30VAC/DC，电阻式
⑤美国MKS真（zhēn）空计继电器响应最长：100毫秒
⑥电源要求：9-30 VDC，最大（dà）<1.2瓦
⑦压电微分重复性：-760至（zhì）10 Torr±1%读数
⑧压电差动零稳定性：满量程的±0.1%（满量程=760 Torr）
⑨超压限制：1500托（绝对）
⑩暴露的材料（liào）：硅、SiO2、Si3N4、金、低释气环（huán）氧树脂、304不锈钢、Viton
⑪电子外（wài）壳及法兰：304不锈钢
⑫美国MKS真空计模拟输出（chū）2分（fèn）辨率：12位
⑬数字波（bō）特率：4800-230400波特率

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