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1、美（měi）国MKS流量控制阀248D介绍
上游流量控制阀是比例控（kòng）制阀，设（shè）计用于精确控制过程中上游的气流。148J全金属控制阀最大限度（dù）地减少了颗粒的产生并（bìng）减少了残留污染物的逸气，否则可能导致设备故障和产（chǎn）量下降。使用（yòng）保证外部泄漏率小于1 x 10-10 atm cc/sec(He)的金属密封件以避免污染和腐蚀。148高温阀可在150°C的过程温度下运行（háng）。248D控制阀（fá）是一种改（gǎi）进型电（diàn）磁（cí）阀，在提供（gòng）控制电流时将调节气体流量。当与MKS控制器和适当的流量传感器一起使用（yòng）时，248D阀门可调节气体流量，同时保持准确和精确的压力或流量。
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2、美国（guó）MKS流量控制阀248D特性
随（suí）着施加到（dào）螺（luó）线（xiàn）管的电流不断（duàn）增加，连接到电枢的阀座被提升远离可调节节流孔。两个螺旋弹簧使电枢在阀体内居中并抵抗磁升力。这些弹簧最大限度地减少了（le）摩擦和迟滞，这是导致控制性能不（bú）佳的主要原因。通过1249控制阀驱（qū）动器提供操作电磁阀（fá）所需（xū）的（de）驱动信号，248D阀可用于压力或（huò）流量（liàng）控制。248D阀门的节流孔无需特（tè）殊工具即可轻松调节或更换。可能需要进行调整以消除因正常操作磨损而导（dǎo）致的阀门泄（xiè）漏。当磨损（sǔn）过度（dù）或改变阀门的流量（liàng）范围时（shí）需要更换。

3、美国MKS流量控制（zhì）阀248D特征
①无需特殊工具即可轻松调整或更换
②调节气体流（liú）量，同时保持精确的压力或流量
③316 SS、镍、埃尔吉洛伊合金、KM45、特氟龙
④10至30,000 sccm满量程流量范围
⑤4 VCR®外螺纹接头
⑥可烘烤至150°C

4、美（měi）国MKS流量控制阀248D规格（gé）
①类型：248D流量控制阀
②满量程流量范围：10-50,000标准立方厘米
③最小可控流量（liàng）：0.2%满量程(小于100 sccm)；0.1%满量程(100至10,000 sccm)；小于（yú）2%满量程(大于10,000 sccm)
④闭合电导泄漏：小于1×10-5 scc/sec He（最高10,000 sccm）；小于1%满量程(大于10,000 sccm)（15 psid至atm）
⑤暴露的材料：标准：316 SS、镍、Viton®；可选：Buna-N、Kalrez®、Neoprene®
⑥密封材料：Viton、氯丁橡（xiàng）胶（jiāo）、Buna-N或Kalrez
⑦配件类型标（biāo）准（zhǔn）：0.25英（yīng）寸Swagelok®；可（kě）选：4 VCR或4 VCO®外（wài）螺纹
⑧工作温度：-10至60°

5、美国MKS流量控制阀248D产品说明
MKS提供上游气流控制阀，可与适当的MKS控制器和压力传感（gǎn）阀连（lián）接，通过调节（jiē）进入腔室的气流来控制腔室压力（lì）。提供传统的阀门/控制器和完全（quán）集成的阀门/控制器（qì）配置。传统的上游（yóu）阀门和阀门控制器组合包括基线248D流量控制阀、148J全金属（shǔ）控制阀和154B高流量（liàng）阀，可使用MKS 651和（hé）1651压力控制器进（jìn）行控制。这些阀门可以使用1249电磁控制阀驱动器进（jìn）行控制。控制阀（fá）驱动器旨在与PC、PLC或其（qí）他（tā）控制器（qì）一起使用（yòng），这些（xiē）控制器提供必要的PID控制功能，但不具（jù）备驱动流量控制阀所（suǒ）需的电流输出。

6、美国MKS流量控制阀248D其他型（xíng）号介绍（shào）
MKS提供用于闭环电子压力控制的集成上游压力阀和控制器。这（zhè）些是独立的紧凑型闭环电子控制系统，用于上游或下游压力控制。MKS的640B和641B绝对压力和表压控制器包含Baratron电容压力计、常闭比例控制阀和闭环控制电子设备（bèi）。这（zhè）些（xiē）控制器中（zhōng）的压力输出和输入控制信号为线性0-5 VOC或0-10 VDC。640/641中包含两（liǎng）个跳闸点，并带有LED状态指示灯，可用作简单的开/关过程限制（zhì）。640和（hé）641压力控制器（qì）可与单通道或四通（tōng）道电源/读数器连接。除了单区集成压力控制器外，MKS还提（tí）供DPC双区压力控制器，该控制器集成了入口气（qì）动截止阀、两个带质（zhì）量流量计量的独立压力控制通道（dào）和一个真空出口。这样（yàng）做的目的是降低用（yòng）于（yú）背（bèi）面晶圆冷却的压（yā）力控制子系统的总体拥有成本，特别是对于最新的两区静电吸盘。

MKS还提（tí）供πPC系列（liè）PC90集成闭环压力控制器和PC99集成闭（bì）环压力控制（zhì）器（包括质量流量计）。πPC压力控制器（qì）以（yǐ）支持网络的格式提供数（shù）字控制。它是一种独立、紧凑、闭环电子压力控制系统，专为各种压力和流量条件而（ér）设计。它（tā）包含Baratron电容（róng）压力计、常闭（bì）或常开控制阀以及闭环控制电子设备。πPC可采用上游或下游压力（lì）控制配置，使其非（fēi）常适合控制工艺（yì）室背压或工艺气体输送压力。凭借数字（DeviceNet或RS-485）或模拟I/O及其以太网设置（zhì）/诊断功能，πPC可以轻松（sōng）集成到大多数处理工具中。πPC压力控制器是一个（gè）完整、紧凑的压力控制（zhì）套件，可最大限度地降低成本和空间要（yào）求。MKS提供多种不同型号的真空（kōng）/压力开关，用于准确可靠地保护真空设备（bèi）、大气（qì）切换和真空/压力过程。这些（xiē）开关专为不需要直流信号输出的应用而（ér）设计，提供继电器输出，可轻松与警（jǐng）报器、阀门执行器、计算机（jī）、过程控制器、负载锁和其他保（bǎo）护设备连接（jiē）。

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