MKS压力控制器不同的型号有各种的优势特点，下面是我们为（wéi）您带来的美国（guó）MKS压（yā）力控（kòng）制（zhì）器PPCA产品特征，欢迎您继续往（wǎng）下阅（yuè）读（dú）！

1、美国MKS压（yā）力（lì）控制器PPCA产品介绍
智能集成压力控制解决（jué）方案可为困（kùn）难的CVD工（gōng）艺和一般（bān）真空应用提供精确控制。他们独（dú）特的设计非常适合需（xū）要高性能和简单集成到工艺工具中的应用。节气（qì）门组件内（nèi）的所有控（kòng）制、通信和驱动电路无需安（ān）装单独（dú）的电子模块。集成压力控制器与真空室一起使用，以控制进入（rù）和离开（kāi）真（zhēn）空室的气流。MKS集成压力控制器包括（kuò）Baratron®压力测量、电磁流量控制阀和集成控制电子设备。PPCA压力控制器（qì）为关键（jiàn）工艺应用提供压力测量和控制，例（lì）如背面晶圆压力控制、传（chuán）输室压力控制和工艺气体面板压力平（píng）衡。该装置可配置用于上游（yóu）（入（rù）口）或下游（出口）压力（lì）控制。这是（shì）在一个紧凑的封装中（zhōng）完成（chéng）的，与以前完成任务所需的多组件系统相比，节省了关键空间。

2、美（měi）国MKS压力控制器PPCA产（chǎn）品特征
PPCA利用MKS Instruments领先的Baratron®电容压力计技术进行压力测量（liàng）。它与比例控制阀和最新的控制电子设备集成在一起，提（tí）供快速、准确的压力控制，并通过关键流量监控作为系统诊断。PPCA可配置为10至1000 Torr满量程压力，控制范围为满量（liàng）程的5至（zhì）100%。这种可配（pèi）置（zhì）性使该（gāi）器（qì）件适用于传输室压力控制、关键背面晶圆（yuán）压力（lì）控制以及运（yùn）行排气压力控制应用（yòng）。根据工艺条（tiáo）件，控制阀可配置为5至5000 sccm满量程的满量（liàng）程流量。PPCA配（pèi）备（bèi）数字（DeviceNet™或EtherCAT®）I/O，可直接集成到新应（yīng）用或改造应用中。该设备的微型（xíng）USB用户界面增强了现场（chǎng）调节和组件诊断功能，几乎可（kě）以（yǐ）通（tōng）过任何带有网络浏览器的PC进行访问。
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3、美国MKS压力控制器PPCA产品模拟输出
1249可由±15 VDC或24 VDC的常用电源（yuán）供电，功耗不到一瓦（不包括阀门）。它接受来自PC、PLC或其他系统控（kòng）制器（qì）的0-5 VDC、0-10 VDC或4-20 mA控制信号输入。1249的输出信号经过定制，可满足148或（huò）248比例控制阀的要求。如（rú）果施（shī）加到1249的电源为±15 VDC或+30 VDC，则1249还可用于驱动154阀。

4、美（měi）国MKS压力控（kòng）制器（qì）PPCA产品（pǐn）特点
①背面晶圆冷却（què）
②对设定（dìng）点的快速响应，超调最小（xiǎo）
③金属密封、洁净室制造的（de）装置满足关键的高纯度应用需求
④温度（dù）补偿可在其（qí）工作温度范围内保持器件精度

5、美国MKS压力控制器PPCA产品（pǐn）规格
①压力范围：10、20、50、100、200、500或1000 Torr满量程
②流（liú）量：50、200、1000、5000、10000、20000、30000、50000（sccm）
③压力分辨率：0.1托
④配件类型（xíng）：Swagelok®4 VCR外螺纹（wén）
⑤压力控制精度：读数的±1.0%（≥10%满量程）满量程的±0.2%（小于10%满量程（chéng））
⑥传感器超压限制：所有量程均为2x满量程
⑦最大压差：45磅/平方英寸
⑧爆（bào）破压力：1500磅/平方英寸
⑨控（kòng）制方式：上游或下游
⑩压力测（cè）量精度：读（dú）数的±0.5%
⑪零温度系数：满量程的±0.02%/°C
⑫跨度温度系数：±0.04%读数/°C
⑬控制范围：大于满量程（chéng）的5至100%
⑭典型（xíng）响应时间：小于1.0秒（不包（bāo）括系（xì）统时间常数）

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