当美（měi）国（guó）MKS的客户有复杂（zá）的问题需要解决时，他们会（huì）求助于（yú）MKS作为值得信（xìn）赖的合作伙伴。他们为多年（nián）来在技术和（hé）应用程序合作中精心培养的牢固关系感到自豪。由于建立在相互信（xìn）任之上的坚实基础，他们拥有强大管（guǎn）道的客户让他（tā）们参与（yǔ）他（tā）们的新（xīn）计划（huá）。他们认为这是（shì）一项崇高的荣誉。他们还与供应商密切合作。这是他（tā）们开展业务（wù）的方式，也（yě）是他们的（de）投资，以确保他们的供应链能够在客户需要时提供关键产品。他们创造的解决方案将未来变为（wéi）现实（shí）——这就是推动可能性边界（jiè）的全部意义所在。当今最激动人心的技术（shù），如5G、人工智能、增强现实和自动驾驶汽（qì）车，都得益（yì）于他们广泛（fàn）的真空产品、电源（yuán）解决方案、气体输送、等离（lí）子体生成、臭氧（yǎng）解决方案、激光（guāng）、光子学、精密光学、运动（dòng）和PCB激光加工。深圳市华联欧国际贸易有限公司专业从事（shì）工业自动化（huà）备品备件（jiàn）的销售，优惠促销（xiāo）MKS控制器产品，价格低，货期（qī）短，质量有保证（zhèng），采购MKS控制（zhì）器，就选深圳华联欧，我们会您（nín）提供（gòng）最优质的服务！以上就是（shì）我们为您介绍的MKS控（kòng）制器,美国MKS控制器，感谢（xiè）阅读！

1、美（měi）国（guó）MKS控制器产品介绍（shào）
使用DELTA™流（liú）量比控制（zhì）器(FRC)，优化过程性能（néng）变（biàn）得更加容易。DELTA™流量比控制器(FRC)广泛用于各种（zhǒng）分流应用，例（lì）如蚀刻、剥离和PECVD，使用户能够将气体或气体混合物（wù）分配到工（gōng）艺室（shì）的不同区域。DELTA™II流量比例控（kòng）制器以用户指定的（de）比例分配和控制混（hún）合（hé）工艺气（qì）体（tǐ）流向工艺室（shì）内的多个腔（qiāng）室或区域，从而最（zuì）大限度地提高工艺（yì）均匀（yún）性和可重（chóng）复性。它可用于EtherCAT®或DeviceNet™通信。

2、美国MKS控制器产品特征
①分配和控制流向两个（gè）腔室或区域的工艺气体
②用于（yú）在运行期间监控设备的嵌入式以太网
③模拟、EtherCAT®或DeviceNet™通信
④更宽的动态控（kòng）制（zhì）范围，可实现（xiàn）低至5%满量程流量的（de）比率控制
⑤获得专（zhuān）利的控制算法可（kě）实现更快（kuài）的响应比设定点
⑥使用标准网络浏览器-无需特殊软件

3、美国MKS控制器产品优势
DELTA II具有更宽的动态（tài）比（bǐ）率控制范围（wéi），更能适应不同的刀具（jù）和（hé）工艺条件（jiàn）。MKS开发了一种独特的正在申请专（zhuān）利的比率控制算法，使比率（lǜ）和（hé）流量（liàng）响（xiǎng）应时间小于两(2)秒。这种控制算法还支持20比1的比率控制范围，是其行业领先前身的两倍多。DELTA II的诊断功能允许用户在现（xiàn）场检查DELTA的性能，通过减少（shǎo）“未发现问题”设备的移除来降低成本。此功能通过通过设备的以（yǐ）太网端（duān）口访问的Web浏览器实用程序启用。该（gāi）实用程序使用标准的网络浏览器（qì）——不需要特殊软件。访问时，可通过设备高亮LED显示屏访问IP地址。

4、美国MKS控制器（qì）产（chǎn）品信息
DELTA II广泛用于各种分流应用，如蚀刻、剥离和CVD，使用户能（néng）够将气体或气体混合（hé）物分配到工艺室中的两个不同区域。向DELTA II发送气体（或任何混合物）和比率设（shè）定（dìng）点，DELTA II将自（zì）动且精确地将气（qì）体分成（chéng）两个独（dú）立的输出通（tōng）道。吞吐（tǔ）量和过程控制一直是半导体器件制造商的关键。随着300毫米晶圆和双（shuāng）工艺室的出现，控（kòng）制气流分布的新方法变得越来越需要。300毫米晶（jīng）圆加工通常（cháng）需要对整个（gè）晶圆的气体分布进行可调控（kòng）制，以提供更好的工艺均匀性。双工艺室需要适当的气体分布，以便与（yǔ）单源气体面板（bǎn）的室（shì）匹配。

5、美国MKS控制器产品技术数据
①最大工作出口压力：200托
②最大允许出口压差：50托（Q1和Q2之间）
③正常工作压差：<150托（对于10000/10000，<450托）（N2）
④证明压力：1000磅（páng）/平方英寸
⑤爆破压力：1500磅（páng）/平（píng）方英寸
⑥输入流量（liàng）范围：每个通道的5到（dào）100%满（mǎn）量程额定值（N2等效）
⑦比率控制范围：1:1到20:1和（hé）20:1到1:1
⑧比率精度：比率设定点的2%
⑨典型精度：比率设定点的0.3%
⑩比率重复性和再现性：通道满量程（chéng）的0.02%
⑪零温度系数：0.05%满量程/°C
⑫跨度温度系数：0.08%读数/°C
⑬热身时间：30分钟
⑭工作温度：10至40°C

6、美国MKS控（kòng）制器产（chǎn）品部（bù）分型号
①美国MKS控制器DELTA™IV 4
②美国MKS控制器DELTA™II
③美国MKS控制器（qì）DLT2A2
④美国MKS控制器DLT2B
⑤美国MKS控制器DLT2A1
⑥美国MKS控制器（qì）DLT3B
⑦美国MKS控制器（qì）DLTNA3

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